[发明专利]一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺

摘要

本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构，硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间，硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁，主梁上设有偶数组质量块，每组质量块包括相对主梁对称布置的两个质量块，质量块分别通过支撑梁和主梁相连，上玻璃盖板、下玻璃盖板上均设有偶数组金属电极，一组金属电极和一组质量块一一对应，且每组质量块位于上玻璃盖板上对应的金属电极、下玻璃盖板上对应的金属电极之间。本发明具有驱动振幅不受电容间隙限制、结构对称性好、受空气阻尼影响小、灵敏度高、结构简单的优点。

主权项

一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：包括上玻璃盖板（1）、下玻璃盖板（2）及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构（3），所述硅敏感结构（3）布置于上玻璃盖板（1）、下玻璃盖板（2）之间形成三层结构，所述硅敏感结构（3）包括应力释放框架（31），所述应力释放框架（31）的中部设有主梁（32），所述主梁（32）上设有偶数组质量块（33），每组质量块（33）包括相对主梁（32）对称布置的两个质量块（33），所述质量块（33）分别通过支撑梁（331）和主梁（32）相连，所述上玻璃盖板（1）、下玻璃盖板（2）上均设有偶数组金属电极（4），一组金属电极（4）和一组质量块（33）一一对应，且每组质量块（33）位于上玻璃盖板（1）上对应的金属电极（4）、下玻璃盖板（2）上对应的金属电极（4）之间；每组金属电极（4）包括检测电极（41）和驱动电极（42），所述检测电极（41）包括正检测电极（411）和负检测电极（412），每组质量块（33）中的一个质量块（33）位于上玻璃盖板（1）上对应的正检测电极（411）、下玻璃盖板（2）上对应的正检测电极（411）之间、另一个质量块（33）位于上玻璃盖板（1）上对应的负检测电极（412）、下玻璃盖板（2）上对应的负检测电极（412）之间；所述质量块（33）上刻蚀有呈圆周排列的多个长孔（332），所述多个长孔（332）位于上玻璃盖板（1）上对应的驱动电极（42）、下玻璃盖板（2）上对应的驱动电极（42）之间，所述驱动电极（42）包括正驱动电极（421）和负驱动电极（422），所述正驱动电极（421）和负驱动电极（422）均设有均匀布置的多根齿条，且所述正驱动电极（421）的齿条、负驱动电极（422）的齿条之间交错布置且保留有间隙。