[发明专利]一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺

权利要求书

1.一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：包括上玻璃盖板(1)、下玻璃盖板(2)及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构(3)，所述硅敏感结构(3)布置于上玻璃盖板(1)、下玻璃盖板(2)之间形成三层结构，所述硅敏感结构(3)包括应力释放框架(31)，所述应力释放框架(31)的中部设有主梁(32)，所述主梁(32)上设有偶数组质量块(33)，每组质量块(33)包括相对主梁(32)对称布置的两个质量块(33)，所述质量块(33)分别通过支撑梁(331)和主梁(32)相连，所述上玻璃盖板(1)、下玻璃盖板(2)上均设有偶数组金属电极(4)，一组金属电极(4)和一组质量块(33)一一对应，且每组质量块(33)位于上玻璃盖板(1)上对应的金属电极(4)、下玻璃盖板(2)上对应的金属电极(4)之间。

2.根据权利要求1所述的基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：每组金属电极(4)包括检测电极(41)和驱动电极(42)，所述检测电极(41)包括正检测电极(411)和负检测电极(412)，每组质量块(33)中的一个质量块(33)位于上玻璃盖板(1)上对应的正检测电极(411)、下玻璃盖板(2)上对应的正检测电极(411)之间、另一个质量块(33)位于上玻璃盖板(1)上对应的负检测电极(412)、下玻璃盖板(2)上对应的负检测电极(412)之间；所述质量块(33)上刻蚀有呈圆周排列的多个长孔(332)，所述多个长孔(332)位于上玻璃盖板(1)上对应的驱动电极(42)、下玻璃盖板(2)上对应的驱动电极(42)之间，所述驱动电极(42)包括正驱动电极(421)和负驱动电极(422)，所述正驱动电极(421)和负驱动电极(422)均设有均匀布置的多根齿条，且所述正驱动电极(421)的齿条、负驱动电极(422)的齿条之间交错布置且保留有间隙。

3.根据权利要求2所述的基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：所述长孔(332)为扇形孔。

4.根据权利要求3所述的基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：所述主梁(32)上设有两组质量块(33)。

5.根据权利要求4所述的基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：所述应力释放框架(31)的两侧设有锚点(311)，所述上玻璃盖板(1)、下玻璃盖板(2)的两侧均设有凸台(11)，所述锚点(311)和凸台(11)之间通过阳极键合相连。

6.根据权利要求5所述的基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺，其特征在于：所述主梁(32)的横截面为矩形。