[发明专利]光寻址电位感测组件有效
申请号: | 201610014710.9 | 申请日: | 2016-01-11 |
公开(公告)号: | CN106896144B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 赖朝松;杨家铭;陈军晖;陈琮诚 | 申请(专利权)人: | 长庚大学 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
代理公司: | 深圳市舜立知识产权代理事务所(普通合伙) 44335 | 代理人: | 侯艺 |
地址: | 中国台湾桃园*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: |
本发明提供了一种光寻址电位感测组件,包含一导电基板、一金属氧化半导体层以及一感测层,其中该金属氧化半导体层的材料为氧化铟镓锌(IGZO)、氧化铟镓(IGO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟锡锌(ITZO)、氧化锡(SnO |
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搜索关键词: | 寻址 电位 组件 | ||
【主权项】:
一种光寻址电位感测组件,其特征在于,包含:一导电基板;一金属氧化半导体层,形成于该导电基板上,该金属氧化半导体层材料为氧化铟镓锌(IGZO)、氧化铟镓(IGO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟锡锌(ITZO)、氧化锡(SnO2)或氧化锌(ZnO);以及一感测层,形成于该金属氧化半导体层上。
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