[发明专利]受限且可伸缩的防护帽有效
| 申请号： | 201580085568.0 | 申请日： | 2015-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN109075194B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | V.沙尔马;R.K.班贝里;C.P.奥思;S.S.廖;G.塔雷贾 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;郑冀之 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施例包括一种系统，其包括：第一栅极和第一接触，它们对应于晶体管并且在第一鳍上；第二栅极和第二接触，它们对应于晶体管并且在第二鳍上；与第一和第二接触共线并且在第一和第二接触之间的层间电介质（ILD）；其中（a）第一和第二栅极是共线的并且第一和第二接触是共线的；（b）该ILD包括凹进部，其包括包含氧化物和氮化物中的至少一种的盖层。在本文中描述了其他实施例。 | ||
| 搜索关键词： | 受限 伸缩 防护 | ||
【主权项】：
1.一种系统，其包括：第一栅极和第一接触，二者都在第一鳍上；第二栅极和第二接触，二者都在第二鳍上；以及在第一和第二接触之间的层间电介质（ILD）部分；其中（a）第一和第二栅极沿着基本上与第一和第二鳍正交的第一轴对准，（b）第一和第二接触和ILD部分沿着基本上平行于第一轴的第二轴对准；以及（c）该ILD部分包括凹进部，其包括包含氧化物和氮化物中的至少一种的盖层。
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