[发明专利]密封用树脂组合物、半导体装置和半导体装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580078021.8 申请日: 2015-03-23
公开(公告)号: CN107429040B 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 关秀俊;伊藤慎吾 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: C08L63/00 分类号: C08L63/00;H01L23/29;H01L23/31
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;程采
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种密封用树脂组合物,其用于将半导体元件和接合线密封,上述接合线与上述半导体元件连接且以Cu为主要成分,上述密封用树脂组合物中,将由条件1算出的相对于上述密封用树脂组合物整体的硫提取量设为W1时,W1为0.04ppm以上0.55ppm以下。条件1:将使上述密封用树脂组合物以175℃、4小时的条件热固化而得到的固化物粉碎,得到粉碎物。接着,在150℃、8小时的条件下对上述粉碎物实施热处理,利用双氧水收集此时产生的气体。接着,由上述双氧水中的硫酸根离子量算出相对于上述密封用树脂组合物整体的硫提取量W1
搜索关键词: 密封 树脂 组合 半导体 装置 制造 方法
【主权项】:
一种密封用树脂组合物,其用于将半导体元件和接合线密封,所述接合线与所述半导体元件连接且以Cu为主要成分,所述密封用树脂组合物的特征在于:含有环氧树脂(A)和固化剂(B),将由条件1算出的相对于所述密封用树脂组合物整体的硫提取量设为W1时,W1为0.04ppm以上0.55ppm以下,条件1:将使所述密封用树脂组合物以175℃、4小时的条件热固化而得到的固化物粉碎,得到粉碎物;接着,在150℃、8小时的条件下对所述粉碎物实施热处理,利用双氧水收集此时产生的气体;接着,由所述双氧水中的硫酸根离子量算出相对于所述密封用树脂组合物整体的硫提取量W1。
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