[发明专利]磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物有效
申请号: | 201580076280.7 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN107250114B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 柳泽智史;木村正树;户田瞳;滋野浩一 | 申请(专利权)人: | 株式会社ADEKA |
主分类号: | C07D221/14 | 分类号: | C07D221/14;C08G59/38;G03F7/004 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供对365nm波长的光的吸收大且在有机溶剂中的溶解性高、显示出良好的产酸率的磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物。一种磺酸衍生物化合物,其由下述通式(I)表示。(式(I)中,X表示碳原子数1~14的直链或支链的烷基,R由碳原子数1~18的脂肪族烃基、碳原子数6~20的芳基、碳原子数7~20的芳基烷基、被酰基取代的碳原子数7~20的芳基、碳原子数3~12的脂环式烃基、10‑樟脑基等表示。 |
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搜索关键词: | 衍生物 化合物 光产酸剂 抗蚀剂 组合 阳离子 聚合 引发 | ||
【主权项】:
一种磺酸衍生物化合物,其特征在于,其由下述通式(I)表示,通式(I)中,X表示碳原子数1~14的直链或支链的烷基,R表示碳原子数1~18的脂肪族烃基、碳原子数6~20的芳基、碳原子数7~20的芳基烷基、被酰基取代的碳原子数7~20的芳基、碳原子数3~12的脂环式烃基、10‑樟脑基或由下述式(II)表示的基团,所述脂肪族烃基、所述芳基、所述芳基烷基和所述脂环式烃基也可以被选自由卤素原子、碳原子数1~4的卤代烷基、碳原子数1~18的烷氧基和碳原子数1~18的烷硫基组成的组中的基团取代,通式(II)中,Y1表示单键或碳原子数1~4的烷二基,R1和R2分别独立地表示碳原子数2~6的烷二基、碳原子数2~6的卤代烷二基、碳原子数6~20的亚芳基或碳原子数6~20的卤代亚芳基,R3表示碳原子数1~18的直链或支链的烷基、碳原子数1~18的直链或支链的卤代烷基、碳原子数3~12的脂环式烃基、碳原子数6~20的芳基、碳原子数6~20的卤代芳基、碳原子数7~20的芳基烷基或碳原子数7~20的卤代芳基烷基,a、b表示0或1,a、b中的任一者为1。
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