[发明专利]磺酸衍生物化合物、光产酸剂、抗蚀剂组合物、阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物有效
| 申请号： | 201580076280.7 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN107250114B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 柳泽智史;木村正树;户田瞳;滋野浩一 | 申请（专利权）人： | 株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07D221/14 | 分类号： | C07D221/14;C08G59/38;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍生物 化合物 光产酸剂 抗蚀剂 组合 阳离子 聚合 引发 | ||
【权利要求书】：
1.一种磺酸衍生物化合物，其特征在于，其由下述通式(I)表示，
通式(I)中，X表示碳原子数1～14的直链或支链的烷基，R表示碳原子数1～18的脂肪族烃基或碳原子数1～18的脂肪族烃基被卤素原子取代的基团。
2.根据权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中，所述X为碳原子数4的烷基。
3.根据权利要求1或2所述的磺酸衍生物化合物，其中，所述R为碳原子数1～8的全氟烷基。
4.一种光产酸剂，其特征在于，其包含权利要求1～3中任一项所述的磺酸衍生物化合物。
5.一种阳离子聚合引发剂，其特征在于，其包含权利要求1～3中任一项所述的磺酸衍生物化合物。
6.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有权利要求4所述的光产酸剂。
7.一种阳离子聚合性组合物，其特征在于，其含有权利要求5所述的阳离子聚合引发剂。
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