[发明专利]成膜装置、带涂膜切削工具的制造方法

摘要

本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。

主权项

1.一种成膜装置，具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑有所述被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由所述输送载体对所述被成膜物施加偏置电压，所述成膜装置通过一边对所述被成膜物施加偏置电压一边使所述输送载体通过所述成膜区域而形成所述涂膜，其中，在所述输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑所述被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在所述杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在所述成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在所述成膜室内移动的所述输送载体的所述突出部件以使所述杆绕轴旋转，所述干涉部件与所述偏置电源电连接，所述成膜室还具有：加热区域，沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且在所述被成膜物进入所述成膜区域之前对所述被成膜物进行加热；及载体待机区域，在所述成膜区域与所述成膜室的端部之间容纳所述输送载体。