[发明专利]成膜装置、带涂膜切削工具的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑有所述被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由所述输送载体对所述被成膜物施加偏置电压，所述成膜装置通过一边对所述被成膜物施加偏置电压一边使所述输送载体通过所述成膜区域而形成所述涂膜，其中，

在所述输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑所述被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，

在所述杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，

在所述成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在所述成膜室内移动的所述输送载体的所述突出部件以使所述杆绕轴旋转，

所述干涉部件与所述偏置电源电连接，

所述成膜室还具有：加热区域，沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且在所述被成膜物进入所述成膜区域之前对所述被成膜物进行加热；及载体待机区域，在所述成膜区域与所述成膜室的端部之间容纳所述输送载体。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述输送装置具有沿所述输送载体的输送方向配置的多个输送辊，

所述干涉部件与所述偏置电源经由一个或多个所述输送辊电连接。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述干涉部件设置在使通过所述成膜区域内的所述杆旋转的位置。

4.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述干涉部件设置在使通过所述成膜区域内的所述杆旋转的位置。

5.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，

所述干涉部件在所述载体输送方向上的所述成膜区域的中央部使所述杆旋转。

6.根据权利要求4所述的成膜装置，其中，

所述干涉部件在所述载体输送方向上的所述成膜区域的中央部使所述杆旋转。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的成膜装置，其中，

沿所述杆的圆周方向以等间隔设置有多个所述突出部件。

8.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧设置有所述加热区域。

9.一种带涂膜切削工具的制造方法，该制造方法使用成膜装置，所述成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑有所述被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由所述输送载体对所述被成膜物施加偏置电压，在所述输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑所述被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在所述杆的外周面上设置有向径向外侧突出的突出部件，在所述成膜室的壁面设置有挂住所述突出部件以使所述杆绕轴旋转的干涉部件，其中，

所述成膜室还具有：加热区域，沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且在所述被成膜物进入所述成膜区域之前对所述被成膜物进行加热；及载体待机区域，在所述成膜区域与所述成膜室的端部之间容纳所述输送载体，

所述带涂膜切削工具的制造方法包括：

将所述切削工具搭载于输送载体上的工序；

在所述成膜室内输送所述输送载体并使所述输送载体通过所述成膜区域的工序；及

在对所述切削工具及所述干涉部件施加所述偏置电压的状态下，使所述干涉部件与所述突出部件干涉而使所述杆旋转的工序，

在所述成膜室内输送所述输送载体，并且使所述输送载体依次通过对所述切削工具进行加热的所述加热区域及所述成膜区域。

10.根据权利要求9所述的带涂膜切削工具的制造方法，其中，

使正在通过所述成膜区域内的所述杆旋转。

11.根据权利要求10所述的带涂膜切削工具的制造方法，其中，

在所述载体输送方向上的所述成膜区域的中央部使所述杆旋转。

12.根据权利要求9所述的带涂膜切削工具的制造方法，其中，

在所述输送载体的输送方向上的所述成膜区域的两侧分别配置所述加热区域，并且使所述输送载体在包括多个所述加热区域及所述成膜区域的区域中往复移动，以在所述切削工具上形成多层涂膜。