[发明专利]成膜装置、带涂膜切削工具的制造方法

说明书

本发明的成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由输送载体对被成膜物施加偏置电压，在输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在成膜室内移动的输送载体的突出部件以使杆绕轴旋转，干涉部件与偏置电源电连接。

技术领域

本发明涉及一种成膜装置、带涂膜切削工具的制造方法。

本申请主张基于2015年1月26日于日本申请的专利申请2015-012602号的优先权，并将其内容援用于此。

背景技术

已知有一边使切削工具旋转一边对切削工具表面进行涂布的成膜装置(例如参考专利文献1)。专利文献1中记载的离子镀装置中，在支撑被处理物的工作台轴上设置有齿轮状的转轮，另一方面，在载体框架的路径附近设置有干涉部件。伴随载体框架的移动，干涉部件与转轮接触以使转轮旋转，从而使被处理物旋转。

专利文献1：日本特开平6-322537号公报

切削工具的成膜工艺中，一边对被处理物施加偏置电压一边进行涂布。但是，已判明在专利文献1中所记载的离子镀装置中，若一边对载体框架施加偏置电压一边进行涂布，则载体框架的移动中偏置电压出现不规则的变动。若涂布中偏置电压发生变化，则可能会得不到所希望的膜质的涂膜。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种稳定地保持一边使被处理物旋转一边进行涂布时的偏置电压且能够形成高质量的涂膜的成膜装置。

并且，本发明的另一目的在于提供一种制造具有高质量的涂膜的切削工具的方法。

根据本发明的一方式，提供一种成膜装置，所述成膜装置具备：成膜室，具有在被成膜物上形成涂膜的成膜区域；输送装置，输送支撑所述被成膜物的输送载体；及偏置电源，经由所述输送载体对所述被成膜物施加偏置电压，所述成膜装置通过一边对所述被成膜物施加偏置电压一边使所述输送载体通过所述成膜区域而形成所述涂膜，其中，在所述输送载体上以竖立姿势沿载体输送方向配置有支撑所述被成膜物并且绕轴旋转的多个杆，在所述杆的外周面上设置有朝向径向外侧突出的突出部件，在所述成膜室的壁面经由绝缘部件设置有干涉部件，所述干涉部件挂住在所述成膜室内移动的所述输送载体的所述突出部件以使所述杆绕轴旋转，所述干涉部件与所述偏置电源电连接。

根据该结构，能够将干涉部件与输送载体的突出部件保持为等电位，因此能够抑制干涉部件与突出部件接触时因火花而导致的输送载体的电压下降。由此，能够形成高质量的涂膜。

也可以是如下结构，即，所述输送装置具有沿所述输送载体的输送方向配置的多个输送辊，所述干涉部件与所述偏置电源经由一个或多个所述输送辊电连接。

也可以是如下结构，即，所述干涉部件设置在使通过所述成膜区域内的所述杆旋转的位置。

也可以是如下结构，即，所述干涉部件在所述载体输送方向上的所述成膜区域的中央部使所述杆旋转。

也可以是如下结构，即，沿所述杆的圆周方向以等间隔设置有多个所述突出部件。

也可以是如下结构，即，所述成膜室具有：加热区域，沿载体输送方向与所述成膜区域相邻配置且在所述被成膜物进入所述成膜区域之前对所述被成膜物进行加热；及载体待机区域，在所述成膜区域与所述成膜室的端部之间容纳所述输送载体。

也可以是如下结构，即，在所述载体输送方向上的所述成膜区域的两侧设置有所述加热区域。