[发明专利]用于制造电互连结构的方法在审
| 申请号： | 201580074096.9 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN107210554A | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 徐英郁;文永周;尹琮光;金荣洙 | 申请（专利权）人： | UNID有限公司 |
| 主分类号： | H01R13/24 | 分类号： | H01R13/24;H01R13/08 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开用于制造电连接结构的方法，所述电连接结构包含母连接结构和公连接结构，母连接结构具有位于母连接组件的插入孔中的内导体，且公连接结构具有从公连接组件突出形成的导电柱体，导电柱体被插入固定于插入孔中以接触内导体。所述方法包括准备待用于母连接组件及公连接组件的绝缘组件；以及通过光刻工艺在各绝缘组件上进行导体的图案化以形成内导体及柱体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 互连 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造电连接结构的方法，所述电连接结构包含母连接结构和公连接结构，所述母连接结构具有位于母连接组件的插入孔中的内导体，且所述公连接结构具有从公连接组件突出形成且导电的柱体，所述柱体被插入固定于所述插入孔中以接触所述内导体，所述方法包括：准备待用于所述母连接组件及所述公连接组件的绝缘组件；以及通过光刻工艺在所述绝缘组件中的每一者上进行导体的图案化以形成所述内导体及所述柱体。
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