[发明专利]真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法有效

专利信息
申请号: 201580059301.4 申请日: 2015-11-05
公开(公告)号: CN107110167B 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 大立好伸;前岛靖;高阿田勉;野中学 申请(专利权)人: 埃地沃兹日本有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张雨;刘林华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供能对检测出旋转体与定子的接触时的接触的原因进行解析、并采取适当的处理的真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法。接触判定用关于位移信号的旋转体接触判定用阈值(B1)、和关于加速度信号的旋转体接触判定用阈值(B2)进行。此外,关于旋转体(103)的不平衡量的判定,用关于位移信号的不平衡量增加判定用阈值(A1)、和关于加速度信号的不平衡量增加判定用阈值(A2)进行。并且,如果在位移信号与加速度信号的任一方中,在判定为接触推定时刻前的既定时间内,超过了不平衡量增加判定用阈值(A1)或不平衡量增加判定用阈值(A2),则判断为不是因生成物的堆积增加导致的接触。另一方面,若在该既定时间内都没有超过,则判断为因生成物的堆积增加导致的接触。
搜索关键词: 真空泵 以及 异常 原因 推定 方法
【主权项】:
暂无信息
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