[发明专利]真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，

具备：

旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；

旋转体位移用阈值，对于前述位移的信号而设定；

接触判定机构，将前述位移的信号超过前述旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；

保存机构，保存前述位移的信号；

旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；

异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。

2.一种真空泵，其特征在于，

具备：

固定部物理量检测机构，将固定部的物理量作为信号进行检测；

固定部物理量用阈值，对于前述物理量的信号而设定；

接触判定机构，将前述物理量的信号超过前述固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻；

旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；

保存机构，保存前述位移的信号；

旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；

异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述固定部的物理量是前述固定部的加速度或者作用于前述固定部的力。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述固定部的物理量是下述物理量：相当于对前述固定部的加速度以既定次数进行微分或者积分后的结果。

5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述位移的信号没有超过前述旋转体保存位移用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

6.如权利要求2至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述位移的信号没有超过前述旋转体保存位移用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

7.如权利要求2至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

具备：

保存机构，保存前述物理量；

固定部保存物理量用阈值，根据在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号而设定；

前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号没有超过前述固定部保存物理量用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

8.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

具备：

保存机构，保存固定部的物理量；

固定部保存物理量用阈值，根据在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号而设定；

前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号没有超过前述固定部保存物理量用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

9.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

具备：

保存机构，保存前述物理量；

固定部保存物理量用阈值，根据在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号而设定；

前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号没有超过前述固定部保存物理量用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。