[发明专利]具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔有效
| 申请号： | 201580049140.0 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107076636B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 西尔维奥·德克尔;罗尔夫·诺伯特 | 申请（专利权）人： | 英福康有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 阳开亮 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜腔(10)，用于容纳测试目标(22)，所述测试目标(22)将会被测试是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔(10)具有包围薄膜腔体积(20)的腔壁，所述腔壁具有至少一个柔性腔壁区域；其特征在于，邻近所述柔性腔壁区域的测量体积(34、36)被设置在所述柔性腔壁区域的被相对于所述薄膜腔体积(20)放置的一侧，并且被与所述薄膜腔体积(20)气密地分隔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 泄漏 测试 测量 体积 薄膜 | ||
【主权项】：
一种薄膜腔(10)，用于容纳测试目标(22)，所述测试目标(22)将会被测试是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔(10)具有包围薄膜腔体积(20)的腔壁，所述腔壁具有至少一个柔性腔壁区域；其特征在于：邻近所述柔性腔壁区域的测量体积(34、36)被设置在所述柔性腔壁区域的被相对于所述薄膜腔体积(20)放置的一侧，并且被与所述薄膜腔体积(20)气密地分隔。
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