[发明专利]具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔

说明书

本发明涉及一种薄膜腔(10)，用于容纳测试目标(22)，所述测试目标(22)将会被测试是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔(10)具有包围薄膜腔体积(20)的腔壁，所述腔壁具有至少一个柔性腔壁区域；其特征在于，邻近所述柔性腔壁区域的测量体积(34、36)被设置在所述柔性腔壁区域的被相对于所述薄膜腔体积(20)放置的一侧，并且被与所述薄膜腔体积(20)气密地分隔。

技术领域

本发明涉及用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔。

背景技术

薄膜腔是一种具有至少一个例如由薄膜材料制成的柔性腔壁部分的测试腔体。传统的薄膜腔包括两个薄膜膜层，其围绕测试目标被彼此相对放置，从而完全包围所述测试目标。在已经收容所述测试目标之后，所述薄膜腔被气密地密封并抽空。之后，在所述测试目标之外的区域中，薄膜腔体积内的压力变化被监测，其中压力增加被认为是表示所述测试目标中的泄漏的迹象。作为相对于监测所述薄膜腔体积内的压力的另一可选方案，监测所述柔性腔壁部分也是可行的，其中所述柔性腔壁部分或者所述薄膜的变化分别都可能指示出泄漏。这样的方法是在DE 10 2012 200 063 A1中已知的。

对于具有粗泄漏的测试目标而言存在一个问题，即当抽空所述薄膜腔时，所述测试目标也被通过所述位置不精确的泄漏同时抽空。在抽空所述薄膜腔体之后再为了检测泄漏而测量压力增量在这种情况下必然会失败。粗泄漏被认为是这样一种泄漏：其允许存在通过其泄漏处的体积流量，而所述体积流量在抽空时间中会吸走所述测试目标内的空余体积的实质部分。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种薄膜腔和一种用于实现对测试目标中的粗泄漏的检测的对应方法。

本发明的所述薄膜腔由权利要求1的特征限定。

一种测量腔体，邻接于限定薄膜腔体积的柔性腔壁部分，所述腔体被与所述薄膜腔体积气密地隔开。当具有粗泄漏的测试目标被测试时，随着所述薄膜腔被抽空，所述测试目标也会被抽空到至少一定的程度。由于所述薄膜腔体积和所述测量体积之间是所述柔性腔壁部分，所述测量体积随之会变大。所述测量体积的增量大于在测试目标密封的情形下的增量或者在测试目标仅有较小孔洞的情形下的增量。在测试目标密封的情形下，仅有处于所述测试目标之外的区域中的所述薄膜腔体积被抽空。在测试目标具有粗泄漏的情形下，所述测试目标或者所述测试目标的体积的至少一部分也会被抽空。这样，在存在粗泄漏的情形下，与测试目标密封的情形相比，更大的体积会被抽空。因此，所述测量体积的膨胀越大，所述测试目标的泄漏也越大。基于所述测量体积和/或所述柔性腔壁部分的膨胀，探明所述测试目标中的可能存在的泄漏的尺寸就会是可行的。

所述薄膜腔优选地具有两个薄膜膜层，每个膜层都形成有所述柔性腔壁部分。所述两个薄膜膜层包围处于所述薄膜腔的关闭状态下的所述薄膜腔体积。每个薄膜膜层都被一个框架部件支持及固定。这两个框架可以例如被彼此通过铰链连接，使得所述薄膜腔可以被折叠从而被打开或关闭。在所述薄膜腔的打开状态下，可以进入所述薄膜腔体积以便将所述测试目标放置在所述薄膜腔中。在所述薄膜腔的关闭状态下，所述薄膜腔体积被与在外界环绕所述薄膜腔的大气气密地分隔。

所述测量体积可以由具有测量腔体环和测量腔体盖的测量腔体形成。所述测量腔体环具有两个相对的开口端。所述开口端中的一个相应地被所述薄膜膜层或者所述柔性腔壁部分封闭。所述测量腔体环的相反的另一端被所述测量腔体盖封闭。

优选地，所述两个薄膜膜层中的每一个都设有独立的测量腔体。所述两个测量腔体可以用气密的方式例如通过气体输送导管被连接，并且相对于在外界环绕所述薄膜腔和所述测量腔体的大气被气密性地封闭。