[发明专利]具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔

权利要求书

1.一种薄膜腔，用于容纳测试目标，所述测试目标将会被测试是否有泄漏的存在；其中所述薄膜腔具有包围薄膜腔体积的腔壁，所述腔壁具有至少一个柔性腔壁区域；其特征在于：邻近所述柔性腔壁区域的测量体积被设置在所述柔性腔壁区域的被相对于所述薄膜腔体积放置的一侧，并且被与所述薄膜腔体积气密地分隔；其中，所述测量体积与压力传感器或流量传感器以气体传输方式连接，所述压力传感器或流量传感器用于监测在抽空所述薄膜腔的期间所述测量体积的参数，从而根据监控的结果来估算所述测试目标中的可能的泄漏的尺寸。

2.如权利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述测量体积被通过通风阀与环绕所述测量体积的大气连接。

3.如权利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述薄膜腔具有第一和第二薄膜膜层，所述第一和第二薄膜膜层在所述薄膜腔的关闭状态下包围所述薄膜腔体积，其中第一测量体积邻接所述第一薄膜膜层，而第二测量体积邻接所述第二薄膜膜层。

4.如权利要求3所述的薄膜腔，其特征在于：所述第一测量体积和所述第二测量体积被以气体输送方式连接。

5.如权利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述测量体积由在所述柔性腔壁部分的下侧支撑所述柔性腔壁部分的测量腔体环和在与所述柔性腔壁部分相反的一侧封闭所述测量腔体环的测量腔体盖形成。

6.如权利要求1所述的薄膜腔，其特征在于：所述薄膜腔具有用于将测试目标放置到所述薄膜腔体积中的打开状态、以及关闭状态；在所述关闭状态下所述薄膜腔体积被气密地封闭；其中所述测量体积被气密地封闭，与所述薄膜腔的封闭状态无关。

7.一种用于测试测试目标是否有泄漏的存在、以及用于使用如权利要求1-2、5-6中任意一项所述的薄膜腔的方法，其特征在于包括以下步骤：

将所述测试目标放置在所述薄膜腔中；

封闭所述薄膜腔；

抽空所述薄膜腔；以及

在抽空所述薄膜腔的期间监测所述测量体积的参数，从而根据监控的结果来估算所述测试目标中的可能的泄漏的尺寸。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：如果所述测量体积在所述薄膜腔被抽空时增加，则检测到粗泄漏。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于：在所述薄膜腔被封闭并抽空之后，如果没有粗泄漏在所述测试目标中被检测到，则所述测量体积被排空。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于：被放置在所述测量体积中的所述测试目标所影响的所述测量体积的变化被通过测量所述薄膜腔中的压力、或者通过测量所述薄膜腔中的或者来自所述薄膜腔的气体流量来确定。

11.如权利要求8所述的方法，其特征在于：所述测试目标的绝对体积被通过测量所述薄膜腔中的压力的变化、或者通过测量所述薄膜腔中的或者来自所述薄膜腔的气体流量来确定。