[发明专利]喷嘴头,制造该喷嘴头的方法和具有该喷嘴头的液体供给设备有效

专利信息
申请号: 201580000944.1 申请日: 2015-07-30
公开(公告)号: CN106170876B 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 李相昊;申权容;姜景太;姜熙锡;黄晙泳;曹观铉;姜敃圭 申请(专利权)人: 韩国生产技术研究院
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司11243 代理人: 许静,安利霞
地址: 韩国忠*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种喷嘴头、一种制造所述喷嘴头的方法,并且包含喷嘴头,其包含喷嘴基板;喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且有喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;以及引入凹座,其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上,以使得用于供给液体的管线联接到所述引入凹座。
搜索关键词: 喷嘴 制造 方法 具有 液体 供给 设备
【主权项】:
一种喷嘴头,其包括:一喷嘴基板;一喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且一喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;一回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;一真空形成孔,其布置成与所述喷嘴尖端隔开,并且穿过所述喷嘴基板的上表面和下表面;一移动凹座,其在所述喷嘴基板的所述下表面上凹陷,并且使所述真空形成孔与所述回避凹座连通;以及一片玻璃,其附着到所述喷嘴基板的所述下表面,并且其中所述玻璃的一面对所述喷嘴尖端的部分带有孔。
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