[发明专利]喷嘴头，制造该喷嘴头的方法和具有该喷嘴头的液体供给设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种喷嘴头、一种制造所述喷嘴头的方法和一种具有所述喷嘴头的液体供给设备，并且更具体地说涉及一种用于持续射出精细液体流的喷嘴头、一种制造所述喷嘴头的方法和一种具有所述喷嘴头的液体供给设备。

背景技术

随着不断升级的信息行业的快速发展，高速传递信息让人们能够不受时间和场地的限制发送和接收信件、语音和图像。

CRT-led信息传递媒体已经得到了发展，现在诸如LCD、PDP、LED和UHD之类的大规模平板显示器(其可能适合于人体工学功能和高功能性)以及诸如高速移动通信终端、PDA和网络平板之类的小尺寸显示器正在快速增加，并且显示器市场已经由于便利性而根据需求的突然上升不断发展。

由于平板显示器的高质量和低功耗，各种应用市场变得越来越活跃，并且OLED继LCD和PDP之后作为下一代显示器受到普遍关注。

自从柯达公司的Tang于1987年成功地从具有堆栈结构的有机材料发出高亮度的光以来，OLED迄今为止已经取得了许多技术上的进步。

OLED在亮度、对比度、响应速度、彩色再现度和可视度方面具有极好的屏幕质量，并且因为工艺简单所以成本很低，因此OLED被视为所谓的理想显示器。

然而，OLED使用寿命较短且合格率较低，因此商业化存在困难，由于LCD相关技术的快速进步在很大程度上限制了OLED进入市场，因此OLED的商业化受到了延迟。

近年来，由于世界显示器行业的差不多所有技术问题都得到了解决，所以日本和台湾包括韩国的相关企业已经开始量产OLED。

OLED是这样一种显示设备，其中通过正电极和负电极注入到有机薄膜中的空穴和电子彼此再耦合以形成激子，在激子返回稳定状态时发出的能量再次转化成光，同时发光。

最简单的OLED包含用于射出电子的负电极、用于射出空穴的正电极和用于发光的有机薄膜，并且进一步包含功能层，功能层说明射出和传递电子和空穴，以改善载流子的再耦合和发光特性。

有机薄膜形成技术包含使用精细金属掩模(FMM)的大面积沉积技术、使用激光的图案化技术，以及使用液基油墨材料的印刷技术。

大面积沉积技术分类成沉积源技术和掩模技术，并且沉积源技术包含根据相关技术的点沉积源、用于近年来的大面积沉积的线沉积源、气体沉积技术和根据沉积方向的垂直和水平沉积源，并且掩模技术包含对准器机构技术和图案掩模技术。

此外，印刷技术可以包含使用高分子发光溶液和导电溶液、胶版、凹板和柔性版的喷墨打印。

印刷技术具有用于将液体移动到喷嘴头并且排出液体的结构。

同时，当期望应用印刷技术来形成OLED像素时，必须通过喷嘴头精细且持续地射出液体。

为了满足这些要求，已经研发出各种结构和形状的喷嘴，但是持续射出液体方面存在限制，这是因为这些喷嘴的结构比较复杂，而且射出液体流较大。

发明内容

本发明的目的是试图解决上述问题，并且提供一种喷嘴头和制造所述喷嘴头的方法，所述喷嘴头可以从初始射出阶段精细地并且持续地射出液体流，并且可以自由地调整从喷嘴射出的液体的供给和中断。

本发明还提供一种具有喷嘴头的液体供给设备，所述喷嘴头可以均匀地涂覆100nm或更薄的薄膜，而不会产生不良产品。

根据本发明的一个方面，提供一种喷嘴头，其包括：喷嘴基板；喷嘴尖端，其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起，并且喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端；回避凹座，其形成在所述喷嘴尖端的外周上，并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷；以及引入凹座，其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上，使得用于供给液体的管线联接到所述引入凹座。

根据本发明的另一个方面，提供一种喷嘴头，其包括：喷嘴基板；喷嘴尖端，其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起，并且喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端；回避凹座，其形成在所述喷嘴尖端的外周上，并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷；真空形成孔，其布置成与所述喷嘴尖端隔开，并且穿过所述喷嘴基板的上表面和下表面；移动凹座，其在所述喷嘴基板的所述下表面上凹陷，并且使所述真空形成孔与所述回避凹座连通；以及一片玻璃，其附着到所述喷嘴基板的所述下表面，并且其中所述一片玻璃的面对所述喷嘴尖端的部分带有孔。

流动空间形成在所述移动凹座的底部与所述玻璃的上表面之间，液体流过所述流动空间，或者真空施加于所述流动空间。

与喷嘴孔连通的溶液供给管线和与所述真空形成孔连通的真空/清洗液体施加管线连接到所述喷嘴基板的上表面。