[实用新型]一种新型真空镀膜靶材永磁结构有效
| 申请号： | 201521114325.9 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205313660U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空镀膜靶材永磁结构，包括阴极组件和安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上安装有靶材，所述靶材组件下方的安装联接法兰上安装有永磁组件。所述永磁组件安装时，其位置和高度可以调整，以便实现与等离子导向磁场的最佳匹配，从而使电弧更加稳定。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型在原真空镀膜靶材结构的基础上面，于靶材的下端增加了永磁组件，从而对工作过程中的电弧产生引向作用，控制其在靶材表面的发生范围，从而使靶材均匀损耗，提高了靶材的使用率，同时定向电弧也使靶材结构工作更稳定，安全，可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 永磁 结构 | ||
【主权项】：
一种新型真空镀膜靶材永磁结构，其特征在于：包括阴极组件和安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上安装有靶材，其特征在于：所述靶材组件下方的安装联接法兰上安装有永磁组件。
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