[实用新型]一种新型真空镀膜靶材永磁结构有效
| 申请号： | 201521114325.9 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205313660U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 永磁 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型真空镀膜靶材永磁结构，其特征在于：包括阴极组件和安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上安装有靶材，其特征在于：所述靶材组件下方的安装联接法兰上安装有永磁组件。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜靶材永磁结构，其特征在于：所述永磁组件包括不锈钢底座和顶部卡箍，不锈钢底座上设有固定孔，不锈钢底座和顶部卡箍之间固定有圈形N极磁体组件，顶部卡箍套住圈形N极磁体组件顶端，所述圈形N极磁体组件内部设有固定在有锈钢底座上的S极磁体。
3.根据权利要求2所述的一种新型真空镀膜靶材永磁结构，其特征在于：所述圈形N极磁体组件由若干块N极磁体呈圈形排列构成。
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