[实用新型]一种金属有机化学气相沉淀设备

摘要

本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应箱及喷淋头，反应箱上端设置有喷淋头；反应箱内设置有反应腔，反应腔底端设置有反应平台，反应平台上端设置有反光层；喷淋头包括上盖及孔板，孔板上均布有多个向反应腔内输送气态原材料的小孔，上盖顶部设置有多个与小孔对应的窗口，上盖上设置有多个激光发生与接收装置，激光发生与接收装置上设置有蜂鸣器，蜂鸣器与激光发生与接收装置电连接；反应箱底部设置有电机，电机上端与转轴连接，转轴上端设置有单臂旋转杆，单臂旋转杆上端设置有毛刷。本新型结构设计合理，能实时检测喷淋头中小孔的通堵状况，及时快捷方便地清理喷淋头，节省人力成本，提高工作效率。

主权项

一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应箱及喷淋头，其特征在于，所述反应箱上端设置有喷淋头；所述反应箱内设置有反应腔，所述反应腔底端设置有反应平台，所述反应平台上端设置有反光层；所述喷淋头包括上盖及孔板，所述孔板上均布有多个向反应腔内输送气态原材料的小孔，所述上盖顶部设置有多个与小孔对应的窗口，所述上盖上设置有多个激光发生与接收装置，所述激光发生与接收装置上设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器与激光发生与接收装置电连接：所述反应箱底部设置有电机，所述电机上端与转轴连接，所述转轴穿过反应箱延伸至反应腔内，所述转轴上端设置有单臂旋转杆，所述单臂旋转杆上端设置有毛刷。