[实用新型]一种金属有机化学气相沉淀设备

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应箱及喷淋头，其特征在于，所述反应 箱上端设置有喷淋头；所述反应箱内设置有反应腔，所述反应腔底端设置有反应平台，所 述反应平台上端设置有反光层；所述喷淋头包括上盖及孔板，所述孔板上均布有多个向反 应腔内输送气态原材料的小孔，所述上盖顶部设置有多个与小孔对应的窗口，所述上盖上 设置有多个激光发生与接收装置，所述激光发生与接收装置上设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器 与激光发生与接收装置电连接：所述反应箱底部设置有电机，所述电机上端与转轴连接， 所述转轴穿过反应箱延伸至反应腔内，所述转轴上端设置有单臂旋转杆，所述单臂旋转杆 上端设置有毛刷。

2.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述反应平台 下方设置有加热装置。

3.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述电机下端 设置有升降台。

4.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述毛刷采用 高低刷毛间隔排列方式设置。

5.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述单臂旋转 杆与毛刷均采用耐高温的聚四氟乙烯材质。