[实用新型]一种冷却水循环系统有效
| 申请号： | 201521099531.7 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN205247061U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 徐惠懂 | 申请（专利权）人： | 苏州同冠微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 曹军 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。本实用新型的冷却水循环系统正常工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源，该系统能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却水 循环系统 | ||
【主权项】：
一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀(1)、管接在进水阀(1)一端的流量计(2)、管接在流量计(2)另一端的过滤器(3)和管接在过滤器(3)另一端的出水阀(4)，其特征在于：还包括电磁阀(5)，所述电磁阀(5)管接在所述进水阀(1)的另一端。
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