[实用新型]一种冷却水循环系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及水循环技术领域，尤其是一种冷却水循环系统。

背景技术

在半导体处理工厂内，光刻机内部需保持精确的恒温状态，它是通过冷却 水的空调系统来实现的。现有的冷却水循环系统主要包括进水阀、流量计、过 滤器和出水阀等组成，整套管路中任何一个环节出现漏水，都会触发空调内部 的漏水检知继电器，从而切断空调电源，使空调停止工作，但是漏水点可能会 继续漏水，若发现不及时，随着积水越来越多，空调内部诸如压缩机、变压器 等重要元器件将受到损坏，设备安全性得不到保障，造成巨大损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服上述缺陷，本实用新型提供 一种能够有效防止系统内部漏水、避免损失及提高安全性的冷却水循环系统。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种冷却水循环系统， 用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一 端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀， 还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。

进一步地，该系统还包括与电磁阀电连接的漏水检知继电器，当系统的管 道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器，从而切断电磁阀的电源。

进一步地，该系统还包括旁通阀，所述旁通阀的一端管接在电磁阀的出水 口，旁通阀的另一端管接在出水阀的出水口。

进一步地，所述过滤器和出水阀之间还管接有泄压阀，所述泄压阀可释放 管道压力，便于更换过滤器。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种冷却水循环系统，工作 时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形 成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器， 进而关闭电磁阀，切断系统的水源。本实用新型的冷却水循环系统在发生漏水 时，能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生， 大大提高了设备的安全性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的一种冷却水的循环系统的实施例一中的结构示意图；

图2是本实用新型的一种冷却水的循环系统的实施例二中的结构示意图。

图中：1、进水阀，2、流量计，3、过滤器，4、出水阀，5、电磁阀，6、 旁通阀，7、漏水检知继电器，8、泄压阀。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示 意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例一

请参照图1所示，本实用新型的一种冷却水的循环系统，用于对光刻机内 部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀1、管接在进水阀1一端的流量计2、 管接在流量计2另一端的过滤器3和管接在过滤器3另一端的出水阀4，还包括 电磁阀5，所述电磁阀5管接在所述进水阀1的另一端。

该系统还包括与电磁阀5电连接的漏水检知继电器7，当系统的管道中任何 一处发生漏水都会触发漏水检知继电器7，从而关闭电磁阀5的电源，切断水源。

下面结合图1说明本实用新型的一种冷却水的循环系统的工作过程：当该 系统中没有发生漏水情况时，电磁阀5、进水阀1和出水阀4为常开状态，此时， 冷却水依次通过电磁阀5、进水阀1、流量计2、过滤器3和出水阀4，最终到 达空调的冷却系统，形成该系统的水循环过程；当该系统中的任何一处发生漏 水时，此时漏水检知继电器便会被触发，关闭电磁阀5的电源，进而切断进入 该系统中的水源，保证设备不被漏水破坏。当过滤器3发生故障需要更换，又 不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀1关闭，冷却水从旁通 阀6进入空调的冷却系统。

实施例二

请参照图2所示，本实施例与实施例一的主要区别就在于，为了释放管道 压力，便于更换过滤器3，所述过滤器3和出水阀4之间还管接有泄压阀8，具 体的，通过泄压阀8释放管道内的压力，从而更换过滤器3。

该系统还包括旁通阀6，所述旁通阀6的一端管接在电磁阀5的出水口，旁 通阀6的另一端管接在出水阀4的出水口。当过滤器3发生故障需要更换，又 不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀1关闭，冷却水从旁通 阀6进入空调的冷却系统。