[实用新型]一种冷却水循环系统

权利要求书

1.一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水， 包括进水阀(1)、管接在进水阀(1)一端的流量计(2)、管接在流量计(2) 另一端的过滤器(3)和管接在过滤器(3)另一端的出水阀(4)，其特征在于： 还包括电磁阀(5)，所述电磁阀(5)管接在所述进水阀(1)的另一端。

2.如权利要求1所述的一种冷却水循环系统，其特征在于：该系统还包括 与电磁阀(5)电连接的漏水检知继电器(7)，当系统的管道中任何一处发生漏 水都会触发漏水检知继电器(7)，从而切断电磁阀(5)的电源。

3.如权利要求2所述的一种冷却水循环系统，其特征在于：该系统还包括 旁通阀(6)，所述旁通阀(6)的一端管接在电磁阀(5)的出水口，旁通阀(6) 的另一端管接在出水阀(4)的出水口。

4.如权利要求3所述的一种冷却水循环系统，其特征在于：所述过滤器(3) 和出水阀(4)之间还管接有泄压阀(8)，所述泄压阀(8)可释放管道压力， 便于更换过滤器(3)。