[实用新型]风刀及刻蚀装置有效
| 申请号： | 201521087468.5 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN205200063U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张田超 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 赵剑飞;龚敏 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种风刀以及刻蚀装置，本实用新型的风刀包括壳体、腔体、进风口以及出风风道，所述壳体的一侧为贴合壁，用于与待清洁的平面相贴合，所述腔体设置在所述壳体的内部；所述出风风道围绕所述贴合壁设置一圈，且均与所述腔体相连通，所述出风风道沿所述贴合壁的延展方向向远离所述腔体处延伸；所述进风口设置在所述壳体上，且与所述腔体相连通。采用本实用新型的技术方案，能够在不移动风刀的位置或者改变风刀的角度等情况下能够将一个相对较大的待清洁平面进行清洁，提高了风刀进行吹风除水或吹风除尘的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种风刀，其特征在于，包括壳体、腔体、进风口以及出风风道，所述壳体的一侧为贴合壁，用于与待清洁的平面相贴合，所述腔体设置在所述壳体的内部；所述出风风道围绕所述贴合壁设置一圈，且均与所述腔体相连通，所述出风风道沿所述贴合壁的延展方向向远离所述腔体处延伸；所述进风口设置在所述壳体上，且与所述腔体相连通。
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