[实用新型]风刀及刻蚀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及湿法刻蚀技术领域，尤其涉及一种风刀及刻蚀装置。

背景技术

压缩空气(CompressedAir，简称CDA)进入风刀后，由于风刀内部特 殊结构，会形成高强度、大气流的冲击风幕，从而很容易将一些灰尘或者液 体清理干净，因此工业领域通常会利用风刀进行吹风除水或吹风除尘。

相关技术中，风刀吹出的气流通常为长条形或者内环形，长条形的气流 沿着出口喷射方向移动，最终形成的冲击风幕为方形风幕。内环形的气流的 内径会沿着气流方向减小，最终形成锥形风幕。

但是，相关技术中，由于方形风幕的气流只能沿单一方向流动，而锥形 风幕的吹气面积较小，因此，在对一个平面进行吹风除水或吹风除尘时，通 常需要改变风刀的角度或者移动风刀，才能实现对整个平面进行吹风除尘或 者吹风除水，这就降低了风刀进行吹风除水或吹风除尘的效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种风刀，实现了在不移动风刀的位置或者改变风刀的 角度等情况下能够将一个相对较大的待清洁平面进行清洁，提高了风刀进行 吹风除水或吹风除尘的效率；本实用新型还提供一种刻蚀装置，实现了在不 移动风刀的位置或者改变风刀的角度等情况下，使用较少的CDA，形成冲击 力较大的冲击风幕，并有效地对刻蚀腔体的待清洁面进行清洁，进而提高了 刻蚀工艺的准确性。

本实用新型提供一种风刀，

包括壳体、腔体、进风口以及出风风道，所述壳体的一侧为贴合壁，用 于与待清洁的平面相贴合，所述腔体设置在所述壳体的内部；

所述出风风道围绕所述贴合壁设置一圈，且均与所述腔体相连通，所述 出风风道沿所述贴合壁的延展方向向远离所述腔体处延伸；

所述进风口设置在所述壳体上，且与所述腔体相连通。

进一步地，上述所述的风刀中，

所述壳体包括所述贴合壁、盖板和固定构件；

所述进风口设置在所述盖板上，所述固定构件一端与所述盖板连接，所 述固定构件的另一端与所述贴合壁连接；

所述腔体由所述盖板以及所述贴合壁共同围成，且所述盖板与所述贴合 壁的边缘之间形成一圈间隙，作为所述出风风道。

进一步地，上述所述的风刀中，所述固定构件包括螺栓、第一螺纹孔和 第二螺纹孔；

所述第一螺纹孔设置在所述盖板上，所述第二螺纹孔设置在所述贴合壁 上，且所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔的位置相对设置；所述螺栓与所述 第一螺纹孔配合，且穿过所述盖板，并与所述第二螺纹孔配合。

进一步地，上述所述的风刀中，所述腔体包括多层加压腔室，多层所述 加压腔室围绕所述进风口，且由内向外依次延伸，相邻两层所述加压腔室之 间均设置有连接风道，由内向外方向，所述连接风道的截面积依次减小，且 均小于所述进风口的截面积。

进一步地，上述所述的风刀中，所述风刀还包括腔室壁，相邻两个所述 加压腔室之间均通过所述腔室壁阻隔，所述腔室壁设置在所述贴合壁上，且 与所述盖板之间留有间隙，形成所述连接风道。

进一步地，上述所述的风刀中，所述第二螺纹孔设置在所述腔室壁上。

进一步地，上述所述的风刀中，所述盖板、所述进风口、所述贴合壁、 所述腔室壁均共轴设置。

进一步地，上述所述的风刀中，所述出风风道远离所述贴合壁的一侧设 置有遮风檐，所述遮风檐与所述壳体固定连接并沿所述贴合壁的延展方向延 伸，且能够阻挡离开所述出风风道的气吹向背离所述贴合壁的一侧。

本实用新型还提供一种刻蚀装置，包括刻蚀腔体和吹风设备，所述刻蚀 腔体的腔壁设有开孔，所述吹风设备包括气体输送管道和如上权利要求中任 一项所述的风刀；

所述贴合壁贴合在所述刻蚀腔体的待清洁的平面上，且所述风刀的进风 口通过所述开孔与所述气体输送管道连通。

进一步地，上述所述的刻蚀装置中，所述刻蚀装置还包括阀门，所述阀 门设置在所述气体输送管道上。