[实用新型]风刀及刻蚀装置

权利要求书

1.一种风刀，其特征在于，包括壳体、腔体、进风口以及出风风道，所 述壳体的一侧为贴合壁，用于与待清洁的平面相贴合，所述腔体设置在所述 壳体的内部；

所述出风风道围绕所述贴合壁设置一圈，且均与所述腔体相连通，所述 出风风道沿所述贴合壁的延展方向向远离所述腔体处延伸；

所述进风口设置在所述壳体上，且与所述腔体相连通。

2.根据权利要求1所述的风刀，其特征在于，所述壳体包括所述贴合壁、 盖板和固定构件；

所述进风口设置在所述盖板上，所述固定构件一端与所述盖板连接，所 述固定构件的另一端与所述贴合壁连接；

所述腔体由所述盖板以及所述贴合壁共同围成，且所述盖板与所述贴合 壁的边缘之间形成一圈间隙，作为所述出风风道。

3.根据权利要求2所述的风刀，其特征在于，所述固定构件包括螺栓、 第一螺纹孔和第二螺纹孔；

所述第一螺纹孔设置在所述盖板上，所述第二螺纹孔设置在所述贴合壁 上，且所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔的位置相对设置；所述螺栓与所述 第一螺纹孔配合，且穿过所述盖板，并与所述第二螺纹孔配合。

4.根据权利要求3所述的风刀，其特征在于，所述腔体包括多层加压腔 室，多层所述加压腔室围绕所述进风口，且由内向外依次延伸，相邻两层所 述加压腔室之间均设置有连接风道，由内向外方向，所述连接风道的截面积 依次减小，且均小于所述进风口的截面积。

5.根据权利要求4所述的风刀，其特征在于，所述风刀还包括腔室壁， 相邻两个所述加压腔室之间均通过所述腔室壁阻隔，所述腔室壁设置在所述 贴合壁上，且与所述盖板之间留有间隙，形成所述连接风道。

6.根据权利要求5所述的风刀，其特征在于，所述第二螺纹孔设置在所 述腔室壁上。

7.根据权利要求5所述的风刀，其特征在于，所述盖板、所述进风口、 所述贴合壁、所述腔室壁均共轴设置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的风刀，其特征在于，所述出风风道 远离所述贴合壁的一侧设置有遮风檐，所述遮风檐与所述壳体固定连接并沿 所述贴合壁的延展方向延伸，且能够阻挡离开所述出风风道的气吹向背离所 述贴合壁的一侧。

9.一种刻蚀装置，其特征在于，包括刻蚀腔体和吹风设备，所述刻蚀腔 体的腔壁设有开孔，所述吹风设备包括气体输送管道和如上权利要求1-8中 任一项所述的风刀；

所述贴合壁贴合在所述刻蚀腔体的待清洁的平面上，且所述风刀的进风 口通过所述开孔与所述气体输送管道连通。

10.根据权利要求9所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀装置还包 括阀门，所述阀门设置在所述气体输送管道上。