[实用新型]一种晶圆测试用AMP板卡有效
申请号: | 201521080789.2 | 申请日: | 2015-12-22 |
公开(公告)号: | CN205229404U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 朱琦亮;郑东来;徐四九 | 申请(专利权)人: | 上海威伏半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 201703 上海市青浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆测试用AMP板卡,所述晶圆包括若干个第一熔丝,所述晶圆测试用AMP板卡包括:电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元;所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接,所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接,所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝,所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接,所述第一继电器与对应的探针连接,所述探针与对应的所述第一熔丝连接。本实用新型的电路结构简单,设计合理,使用效果好,提高了测试效率,且能够保护探针控制单元。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 amp 板卡 | ||
【主权项】:
一种晶圆测试用AMP板卡,所述晶圆包括若干个第一熔丝,其特征在于:所述晶圆测试用AMP板卡包括:电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元;所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接,所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接,所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝,所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接,所述第一继电器还与对应的探针连接,所述探针与对应的所述第一熔丝连接。
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