[实用新型]一种晶圆测试用AMP板卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试技术领域，特别涉及一种晶圆测试用AMP板卡。

背景技术

晶圆是半导体芯片制造的载体，呈圆形，有4寸、6寸、8寸、12寸等尺 寸，每片晶圆上有一定数量的芯片，每颗芯片可以在后续加工中做成封装芯片 使用。晶圆测试顾名思义就是在芯片还在晶圆上时的早期测试，主要为了监督 晶圆制造厂的良率，有了晶圆测试就可以筛选出早期失效的芯片，避免后期进 入封装阶段后不必要的成本损失。

现有技术中，晶圆测试用AMP板卡通常通过电容充放电方式来烧断熔丝， 主要原理是在探针卡端连接一个电容，且此电容与所有需要烧断的熔丝分别通 过继电器相连，如果某个熔丝需要烧断，则AMP板卡通过程序选择与该熔丝对 应的继电器导通，这样事先充电的电容就放电了，在放电过程中通过电流烧断 该熔丝，达到熔断的目的。但是上述现有技术中，一个电容需要与所有的继电 器连接，每次只能烧断一个熔丝，从而降低测试效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆测试用AMP板卡，其电路结构简单， 设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。

本实用新型通过以下技术手段解决上述问题：

本实用新型的一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，所 述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及 与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；所述主控芯片分别 与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电 源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第 二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一 继电器还与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。

进一步，所述供电切换单元包括第二继电器。

进一步，所述第一继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U1，所述继电器 芯片U1的第3引脚与所述主控芯片的第3引脚连接，所述继电器芯片U1的第 10引脚与所述主控芯片的第74引脚连接。

进一步，所述第二继电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U2，所述继电器 芯片U2的第10引脚与所述主控芯片的第1引脚连接，所述继电器芯片U2的第 3引脚和第8引脚均与所述电源单元的输出端连接，所述继电器芯片U2的第4 引脚通过所述第二熔丝与所述继电器芯片U1的第2引脚连接。

本实用新型的一种晶圆测试用AMP板卡具有以下有益效果：

1.本实用新型的晶圆测试用AMP板卡的电路结构简单，设计合理且使用效果 好；

2.本实用新型的晶圆测试用AMP板卡中的主控芯片能够根据预设规则控制 供电切换单元的导通与关断，进而控制探针控制单元中的第一继电器的导通与关 断，当与第一熔丝对应的第一继电器导通时，则与第一熔丝连接的探针供电，实 现对第一熔丝的熔断，由于主控芯片能够同时控制多个供电切换单元和多个探针 控制单元工作，则可以同时实现多个第一熔丝的熔断，提高了测试效率。

3.本实用新型的晶圆测试用AMP板卡中的探针控制单元包括第二熔丝，当电 源单元过流至一定值时，第二熔丝自动断开，从而能够保护探针控制单元。

综上所述，本实用新型的晶圆测试用AMP板卡的电路结构简单，设计合理， 使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述。

图1为本实用新型的一种晶圆测试用AMP板卡的电路原理框图；

图2为本实用新型的一种晶圆测试用AMP板卡的具体电路连接图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型进行详细说明，如图1所示：所述晶圆包括若 干个第一熔丝101，所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元102、主控芯片103、 若干个供电切换单元104、以及与若干个供电切换单元104一一对应连接的若干 个探针控制单元105。