[实用新型]一种晶圆测试用AMP板卡

权利要求书

1.一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，其特征在于： 所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以 及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；

所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针 控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单 元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切 换单元连接，所述第一继电器还与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一 熔丝连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于：所述供电切 换单元包括第二继电器。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于：所述第一继 电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U1，所述继电器芯片U1的第3引脚与所 述主控芯片的第3引脚连接，所述继电器芯片U1的第10引脚与所述主控芯片的 第74引脚连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试用AMP板卡，其特征在于：所述第二继 电器包括型号为TQ2-5V的继电器芯片U2，所述继电器芯片U2的第10引脚与所 述主控芯片的第1引脚连接，所述继电器芯片U2的第3引脚和第8引脚均与所 述电源单元的输出端连接，所述继电器芯片U2的第4引脚通过所述第二熔丝与 所述继电器芯片U1的第2引脚连接。