[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置

摘要

本实用新型涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，在安装固定板上穿接有旋转轴，旋转轴的一端与电机驱动连接，另一端与水冷盘的底端相固定；水冷盘的内腔中通过隔板分隔为上腔层和下腔层，上腔层与下腔层相通布置；旋转轴的内腔中插接有出水管，出水管的一端伸入至水冷盘的上腔层内，与上腔层相连通设置，另一端连通至出水管出水口，旋转轴上套装有进水管，进水管的一端与水冷盘下腔层相连通，另一端连通至进水管进水口。本实用新型通过在旋转轴内安装出水管，并在旋转轴外套装有进水管，出水管的一端与上腔层相连通，而进水管的一端与下腔层相连通，有效缓解对电极棒长时间的工作而产生的高温，增加长其使用时间，从而提高工作效率。

主权项

一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在于：包括安装固定板(1)，所述安装固定板(1)上穿接有旋转轴(2)，所述旋转轴(2)的一端通过联轴器(3)与电机(4)驱动连接，所述旋转轴(2)的另一端与水冷盘(5)的底端相固定；所述水冷盘(5)的内腔中通过隔板(7)分隔为上腔层(8)和下腔层(9)，所述隔板(7)上开设有孔洞，使上腔层(8)与下腔层(9)相通布置，所述水冷盘(5)上插接有若干电极棒(6)，所述电极棒(6)的上下两端均凸出于水冷盘(5)的上下两端面布置；所述旋转轴(2)的内腔中插接有出水管(23)，所述出水管(23)的一端伸入至水冷盘(5)的上腔层(8)内，与上腔层(8)相连通设置，所述出水管(23)的另一端连通至出水管出水口(24)，所述旋转轴(2)上套装有进水管(21)，所述进水管(21)的一端与水冷盘(5)的下腔层(9)相连通，所述进水管(21)的另一端连通至进水管进水口(22)。