[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置有效

专利信息
申请号: 201520988427.7 申请日: 2015-12-02
公开(公告)号: CN205188420U 公开(公告)日: 2016-04-27
发明(设计)人: 赵培;何清 申请(专利权)人: 苏州奥夫特光学技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 刘洪勋
地址: 215153 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 滤光 真空 设备 水冷 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种水冷装置,尤其涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备的 水冷装置。

背景技术

水冷装置在工、农业的各领域应用十分广泛,在人民生活中冷却设备也随 处可见,是不可缺少的工艺设备之一。尤其在工业中水冷装置的研究倍受重视, 在工业中其装置都会产生热量,而这些热量过大时都需要将这些热量进行排出 或者进行冷却而不会对这些装置造成影响,否则可能这些装置会出现损坏,导 致装置无法工作,同时也加大了成本,一般的装置都是采用放热装置将装置产 生的热量进行排出就能达到持续长久的工作,但对于滤光片真空蒸镀设备,该 设备需要连续的不间断的进行工作,其设备内电极棒产生的热量急需排出,而 采用一般的散热器不能达到长时间的工作,而排风装置也只是相对减缓其热量 的增大,从根本上也不能快速的进行降温,从而导致工作效率不高。

有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种新型结 构的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种用于滤光片真空蒸镀 设备的水冷装置。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,包括安装固定板,所述安装固 定板上穿接有旋转轴,所述旋转轴的一端通过联轴器与电机驱动连接,所述旋 转轴的另一端与水冷盘的底端相固定;

所述水冷盘的内腔中通过隔板分隔为上腔层和下腔层,所述隔板上开设有 孔洞,使上腔层与下腔层相通布置,所述水冷盘上插接有若干电极棒,所述电 极棒的上下两端均凸出于水冷盘的上下两端面布置;

所述旋转轴的内腔中插接有出水管,所述出水管的一端伸入至水冷盘的上 腔层内,与上腔层相连通设置,所述出水管的另一端连通至出水管出水口,所 述旋转轴上套装有进水管,所述进水管的一端与水冷盘的下腔层相连通,所述 进水管的另一端连通至进水管进水口。

进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述进水管通过 冷却管接头与下腔层的进水口相连通。

再进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述冷却管接 头呈Y型结构布置,其Y型的下端插接在水冷下腔层上,进水管连通且嵌装于 Y型的上端上。

再更进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述进水管 上涂覆有一隔热层。

再更进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述上腔层 的直径大于下腔层的直径。

再更进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述进水管 进水口上接有进水机,所述进水机布置在电机的侧边。

再更进一步的,所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置,所述上腔层 或下腔层中设置有温度探头。

借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:

本实用新型通过在旋转轴内安装出水管,并在旋转轴外套装有进水管,出 水管的一端与上腔层相连通,而进水管的一端与下腔层相连通,保证水冷盘的 水的温度始终保持稳定,不受电极棒的加热而导致水冷盘内的水温而升高,有 效缓解对电极棒长时间的工作而产生的高温,增加长其使用时间,从而提高工 作效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新 型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实 施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需 要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些 实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在 不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型的水冷盘的结构示意图;

图3是本实用新型的旋转轴的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。 以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

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