[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置

权利要求书

1.一种用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在于：包括安装固定 板(1)，所述安装固定板(1)上穿接有旋转轴(2)，所述旋转轴(2)的一端 通过联轴器(3)与电机(4)驱动连接，所述旋转轴(2)的另一端与水冷盘(5) 的底端相固定；

所述水冷盘(5)的内腔中通过隔板(7)分隔为上腔层(8)和下腔层(9)， 所述隔板(7)上开设有孔洞，使上腔层(8)与下腔层(9)相通布置，所述水 冷盘(5)上插接有若干电极棒(6)，所述电极棒(6)的上下两端均凸出于水 冷盘(5)的上下两端面布置；

所述旋转轴(2)的内腔中插接有出水管(23)，所述出水管(23)的一端 伸入至水冷盘(5)的上腔层(8)内，与上腔层(8)相连通设置，所述出水管 (23)的另一端连通至出水管出水口(24)，所述旋转轴(2)上套装有进水管 (21)，所述进水管(21)的一端与水冷盘(5)的下腔层(9)相连通，所述进 水管(21)的另一端连通至进水管进水口(22)。

2.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在 于：所述进水管(21)通过冷却管接头(25)与下腔层(9)的进水口相连通。

3.根据权利要求2所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在 于：所述冷却管接头(25)呈Y型结构布置，其Y型的下端插接在水冷下腔层 (9)上，进水管(21)连通且嵌装于Y型的上端上。

4.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在 于：所述出水管(23)上涂覆有一隔热层。

5.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在 于：所述上腔层(8)的直径大于下腔层(9)的直径。

6.根据权利要求1所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特征在 于：所述进水管进水口(22)上接有进水机，所述进水机布置在电机的侧边。

7.根据权利要求1或5所述的用于滤光片真空蒸镀设备的水冷装置，其特 征在于：所述上腔层(8)或下腔层(9)中设置有温度探头。