[实用新型]太阳能吸热膜用的镀膜装置有效
| 申请号： | 201520973229.3 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN205313662U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 朱建明;李金清 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 谢静娜;裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种太阳能吸热膜用的镀膜装置，包括依次连接的多个真空室，多个真空室包括进料室、离子处理室、镀膜室和出料室，任意两个相邻真空室的连接处设有气体隔离空间并设置气体隔离机构；气体隔离机构包括顶板、传动辊、压辊和弹簧，传动辊设于压辊下方，带状基材从传动辊和压辊的相接处通过，顶板底面设有定位块，压辊上方通过弹簧与定位块连接。本镀膜装置省去传统镀膜装置中的隔气室，从而简化设备结构，降低设备制造成本，也避免出现渗气现象，其离子处理室使用多弧点弧靶，比传统单点弧靶的利用率多10倍以上，其镀膜室内设置均气板，可改变气流方向，提高反应性气体与靶溅射出来的离子反应的机会，有效提高镀膜的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 吸热 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，包括依次连接的多个真空室，多个真空室包括进料室、离子处理室、镀膜室和出料室，任意两个相邻真空室的连接处设有气体隔离空间，气体隔离空间内设置气体隔离机构；气体隔离机构包括顶板、传动辊、压辊和弹簧，传动辊设于压辊下方，带状基材从传动辊和压辊的相接处通过，顶板底面设有定位块，压辊上方通过弹簧与定位块连接。
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