[实用新型]太阳能吸热膜用的镀膜装置

权利要求书

1.太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，包括依次连接的多个真空 室，多个真空室包括进料室、离子处理室、镀膜室和出料室，任意两个相邻真 空室的连接处设有气体隔离空间，气体隔离空间内设置气体隔离机构；气体隔 离机构包括顶板、传动辊、压辊和弹簧，传动辊设于压辊下方，带状基材从传 动辊和压辊的相接处通过，顶板底面设有定位块，压辊上方通过弹簧与定位块 连接。

2.根据权利要求1所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 传动辊中心设有传动轴，压辊中心设有压辊轴，传动辊和压辊轴两端均设置轴 承，压辊轴上的轴承上方设置弹簧，传动轴和压辊轴位于同一侧的外端通过传 动齿轮组连接，压辊轴通过同步带轮外接第一驱动机构，传动轴和压辊轴同步 运动。

3.根据权利要求1所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 离子处理室内设有多弧点弧靶装置，多弧点弧靶装置带有两个旋转磁场。

4.根据权利要求3所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 多弧点弧靶装置包括第一磁铁、磁铁旋转支板、旋转电机、靶座、靶罩、靶材、 引弧气缸、引弧密封座和引弧电极，旋转电机的输出端与磁铁旋转支板连接， 磁铁旋转支板两端分别设置第一磁铁，第一磁铁和磁铁旋转支板设于靶座内， 靶座下方设置靶罩，靶材设于靶罩内，引弧气缸和引弧密封座相连接并设于靶 座外侧，引弧气缸的末端设置引弧电极，引弧电极设于靶材下方。

5.根据权利要求4所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 靶座外周设有靶法兰，引弧气缸通过引弧密封座固定于靶法兰上；

靶座与靶法兰的连接处设有绝缘套；

旋转电机下方设有电机固定板，旋转电机通过电机固定板与靶座固定连 接。

6.根据权利要求1所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 镀膜室内设有中频磁控靶，中频磁控靶上方设有均气板。

7.根据权利要求6所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 均气板为拱形的薄板结构，均气板包围于中频磁控靶外周的上半部。

8.根据权利要求6所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 真空室中，同一镀膜室内的中频磁控靶有两组，各中频磁控靶包括靶管、靶芯 和第二驱动机构，靶芯一端与第二驱动机构连接，靶芯设于靶管内部，靶芯上 设有五路第二磁铁，五路第二磁铁呈扇形分布于靶芯外周，五路第二磁铁在靶 管与靶芯之间的空间内形成两个环形的溅射跑道。

9.根据权利要求1所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 真空室还包括过渡室，镀膜室有四个，分别为第一镀膜室、第二镀膜室、第三 镀膜室和第四镀膜室；镀膜装置为直线式结构，包括依次连接的进料室、离子 处理室、第一镀膜室、第二镀膜室、过渡室、第三镀膜室、第四镀膜室和出料 室。

10.根据权利要求9所述太阳能吸热膜用的镀膜装置，其特征在于，所述 离子处理室、第一镀膜室、第二镀膜室、第三镀膜室和第四镀膜室上分别设有 分子泵，并通过分子泵外接第一抽真空机组；进料室外接第二抽真空机组，出 料室外接第三抽真空机组。