[实用新型]一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置

摘要

本实用新型涉及一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。现有的四氯化硅制备原料如氮气压料处理成本高、不稳定，增加一对隔膜泵能够有效地节约成本，保证物料输送稳定性。在各个管道上增设与控制器相连的电磁阀，通过出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连，及时采集各个管道上的相关数据，便于控制整个原料处理装置，降低成本、增加工艺稳定性。

主权项

一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。