[实用新型]一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置。

背景技术

在整个四氯化硅制备工艺中，获得四氯化硅的质量好与坏的因素有很多，其中每一道工序是完整、每一种原料是否达标、每一座设备是否正常等都决定着最终产品的好与坏，尤其在开始阶段的原料处理过程中稳定性、准确性以及成本控制。

发明内容

本实用新型目的是针对上述不足之处，针对现有四氯化硅制备工艺中原料（如氮气压料）处理成本高、不稳定等诸多现象，提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置。

本实用新型一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置是采取以下技术方案实现的：

提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。

作为优选，所述原料储罐上设置有若干个传感器接头，这些传感器接头用于与温度传感器、湿度传感器或压强传感器相连。

作为优选，出口管道上也设置有电磁阀。

作为优选，出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型是一种应用于四氯化硅制备工艺中原料（包括氮气压料）处理装置，由于现有的四氯化硅制备原料如氮气压料处理成本高、不稳定，增加一对隔膜泵能够有效地节约成本，保证物料输送稳定性。同时在各个管道（如出口管道和进口管道）上增设与控制器相连的电磁阀，通过出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连，及时采集各个管道上的相关数据，便于直接控制整个原料处理装置，降低成本、增加工艺稳定性。

附图说明

图1为本实用新型中功能结构示意图，

附图标记：原料储罐V1，隔膜泵P1，蒸气夹套管1。

具体实施方式

本实用新型的具体实施方式描述如下：

如图1所示，本实用新型提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置的具体实施例，提供一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐V1、2个隔膜泵P1和蒸气夹套管1，所述2个隔膜泵P1相互并联后与原料储罐V1的出口相连接；其中：原料储罐V1与两个隔膜泵P1之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐V1的进口设置在该原料储罐V1的顶端上；两个隔膜泵P1的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管1相连通。

其中，所述原料储罐V1上设置有若干个传感器接头，这些传感器接头用于与温度传感器、湿度传感器或压强传感器相连，出口管道上也设置有电磁阀，出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连。

本实用新型实施例中的一种应用于四氯化硅制备工艺中原料（包括氮气压料）处理装置，由于现有的四氯化硅制备原料如氮气压料处理成本高、不稳定，增加一对隔膜泵P1能够有效地节约成本，保证物料输送稳定性。同时在各个管道（如出口管道和进口管道）上增设与控制器相连的电磁阀，通过出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连，及时采集各个管道上的相关数据，便于直接控制整个原料处理装置，降低成本、增加工艺稳定性。

上述实施例是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。