[实用新型]一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置

权利要求书

1.一种用于四氯化硅制备工艺中的原料处理装置，包括原料储罐、2个隔膜泵和蒸气夹套管，其特征在于，所述2个隔膜泵相互并联后与原料储罐的出口相连接；其中：原料储罐与两个隔膜泵之间相连的两条进口管道上均设置有电磁阀，所述原料储罐的进口设置在该原料储罐的顶端上；两个隔膜泵的出口分别通过出口管道与蒸气夹套管相连通。

2.根据权利要求1中所述的原料处理装置，其特征在于，所述原料储罐上设置有若干个传感器接头，这些传感器接头用于与温度传感器、湿度传感器或压强传感器相连。

3.根据权利要求1中所述的原料处理装置，其特征在于，出口管道上也设置有电磁阀。

4.根据权利要求3中所述的原料处理装置，其特征在于，出口管道上的电磁阀、进口管道上的电磁阀以及传感器接头分别与控制器相连。