[实用新型]一种单晶硅棒夹具结构有效
| 申请号: | 201520832075.6 | 申请日: | 2015-10-26 |
| 公开(公告)号: | CN205043994U | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
| 发明(设计)人: | 陈新华;段辉科;黄兴江;杜树林;黎顺海;王放;陈波;温建荣 | 申请(专利权)人: | 重庆四和晶工科技有限公司 |
| 主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 伍伦辰 |
| 地址: | 400054 重庆市巴*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅棒夹具结构,包括整体呈直径大于硅棒直径的圆柱形的硅棒安装座,其特征在于,硅棒安装座上端表面中部设置有一安装槽,安装槽上端口为直径小于硅棒直径的圆形,安装槽槽底中部设置有真空吸盘,真空吸盘为弹性材料制得的开口向上的喇叭形,真空吸盘内腔底部低于硅棒安装座上表面,真空吸盘上端口高度超出安装槽上端口高度且真空吸盘上端口在垂直方向投影落入到安装槽上端口内,真空吸盘底部具有向下延伸进入到硅棒安装座内后再从侧面延伸出硅棒安装座的吸气通道。本实用新型具有结构简单,操作方便,固定可靠的优点,极大地降低硅棒安装和拆取所需时间,提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 夹具 结构 | ||
【主权项】:
一种单晶硅棒夹具结构,包括整体呈直径大于硅棒直径的圆柱形的硅棒安装座,其特征在于,硅棒安装座上端表面中部设置有一安装槽,安装槽上端口为直径小于硅棒直径的圆形,安装槽槽底中部设置有真空吸盘,真空吸盘为弹性材料制得的开口向上的喇叭形,真空吸盘内腔底部低于硅棒安装座上表面,真空吸盘上端口高度超出安装槽上端口高度且真空吸盘上端口在垂直方向投影落入到安装槽上端口内,真空吸盘底部具有向下延伸进入到硅棒安装座内后再从侧面延伸出硅棒安装座的吸气通道。
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