[实用新型]一种单晶硅棒夹具结构

权利要求书

1.一种单晶硅棒夹具结构，包括整体呈直径大于硅棒直径的圆柱形的硅棒安装座，其特征在于，硅棒安装座上端表面中部设置有一安装槽，安装槽上端口为直径小于硅棒直径的圆形，安装槽槽底中部设置有真空吸盘，真空吸盘为弹性材料制得的开口向上的喇叭形，真空吸盘内腔底部低于硅棒安装座上表面，真空吸盘上端口高度超出安装槽上端口高度且真空吸盘上端口在垂直方向投影落入到安装槽上端口内，真空吸盘底部具有向下延伸进入到硅棒安装座内后再从侧面延伸出硅棒安装座的吸气通道。

2.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，所述吸气通道上端口位于真空吸盘中心位置。

3.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，真空吸盘靠布置在吸气通道上端口四周的螺钉固定在安装槽内。

4.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，所述安装槽内腔为圆柱形结构。

5.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，所述安装槽内腔侧面设置有排气孔连通到硅棒安装座侧面。

6.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，所述硅棒安装座上表面位于安装槽的四周还对应设置有用于切割线让位的让位槽。

7.如权利要求1所述的单晶硅棒夹具结构，其特征在于，硅棒安装座下端底部设置有一层磁性底板。