[实用新型]一种针测机承载盘的降温装置有效
申请号: | 201520828829.0 | 申请日: | 2015-10-22 |
公开(公告)号: | CN205227963U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 沈顺金 | 申请(专利权)人: | 安徽超元半导体有限公司 |
主分类号: | F25D1/00 | 分类号: | F25D1/00;H01L21/66 |
代理公司: | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种针测机承载盘的降温装置,包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘,所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接,所述进气接口安装在中空密封装置上,所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连,所述中空密封装置的下表面开设有出气孔,所述出气孔的下方固定有所述承载盘。本实用新型降温装置,通过风机、进气管、压缩空气阀门、连接管、中空密封装置构成外部吹气装置对承载盘进行吹气降温,具有结构简单、使用方便、降温效果好的特点;能够有效地避免降温过程导致的承载盘磕碰;能够清除针测机承载盘上存留的灰尘或其他颗粒,有效地避免存留颗粒造成的暗裂和破片风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 针测机 承载 降温 装置 | ||
【主权项】:
一种针测机承载盘的降温装置,其特征在于:包括风机、进气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘,所述风机与进气管、压缩空气开关依次连接,所述进气接口安装在中空密封装置上,所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连,所述中空密封装置的下表面开设有出气孔,所述出气孔的下方固定有所述承载盘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽超元半导体有限公司,未经安徽超元半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201520828829.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可定点喊话并可对讲的同轴传输监控装置
- 下一篇:一种连接器