[实用新型]一种针测机承载盘的降温装置有效
| 申请号： | 201520828829.0 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205227963U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 沈顺金 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/00 | 分类号： | F25D1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 针测机 承载 降温 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种针测机承载盘的降温装置，其特征在于：包括风机、进 气管、压缩空气开关、进气接口、中空密封装置、承载盘，所述风机 与进气管、压缩空气开关依次连接，所述进气接口安装在中空密封装 置上，所述压缩空气开关通过连接管与进气接口相连，所述中空密封 装置的下表面开设有出气孔，所述出气孔的下方固定有所述承载盘。
2.按照权利要求1所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述风机为直流变频风机。
3.按照权利要求1所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述压缩空气开关上安装有手柄。
4.按照权利要求3所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述进气管与压缩空气开关螺纹连接。
5.按照权利要求4所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述进气管为内螺纹，所述压缩空气开关为外螺纹。
6.按照权利要求1所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述中空密封装置为铝合金装置。
7.按照权利要求6所述的一种针测机承载盘的降温装置，其特 征在于：所述中空密封装置下表面开设有3排出气孔。
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