[实用新型]一种平面阴极有效
| 申请号： | 201520738884.0 | 申请日： | 2015-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN205099747U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 郭江涛 | 申请（专利权）人： | 上海晓睿真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201307 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面阴极，包括：阴极体基座，磁体及移位机构。所述阴极体基座设置有容腔。所述磁体设置在靶材的一侧以约束电子，形成等离子体，所述磁体可移动地设置于所述容腔内。所述移位机构可移动地设置于所述阴极体基座上，并延伸至所述容腔内驱动所述磁体移动。本实用新型平面阴极通过所述移位机构调整所述磁体相对于靶材距离，并且从而改变靶材表面磁场强度分布,并且该调整无需镀膜设备破空。所述平面阴极调节操作简单、调节精度高，能够实现任何苛刻膜层均匀性的要求，保证了镀膜产品的产品质量，提高了镀膜设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 阴极 | ||
【主权项】：
一种平面阴极，包括：阴极体基座，所述阴极体基座设置有容腔；磁体，该磁体设置在靶材的一侧以约束电子，形成等离子体；移位机构；所述磁体可移动地设置于所述容腔内，所述移位机构可移动地设置于所述阴极体基座上，并延伸至所述容腔内驱动所述磁体移动。
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