[实用新型]一种平面阴极

权利要求书

1.一种平面阴极，包括：

阴极体基座，所述阴极体基座设置有容腔；

磁体，该磁体设置在靶材的一侧以约束电子，形成等离子体；

移位机构；

所述磁体可移动地设置于所述容腔内，所述移位机构可移动地设置于所述阴极体基座上，并延伸至所述容腔内驱动所述磁体移动。

2.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述移位机构包括调整杆和调节螺母；所述调整杆贯穿所述阴极体基座，一端位于所述容腔内，另一端伸出所述容腔之外并与所述调节螺母螺纹配合；所述调整杆可沿轴向移动地设置于所述阴极体基座上；所述调整杆一端与所述磁体直接连接或者传动连接；所述调整杆与所述调节螺母其中之一可转动地设置，所述调整杆与所述调节螺母其中之一转动时可使所述调整杆沿轴向移动，所述调整杆沿轴向移动过程中驱动所述磁体移动。

3.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于，所述磁体安装在支撑梁上，所述支撑梁可移动地设置在所述容腔内，所述调整杆一端与所述支撑梁连接。

4.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于，所述调节螺母上设置有刻度线。

5.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于，所述调整杆与所述阴极体基座之间设置有第一密封圈。

6.根据权利要求2所述的平面阴极，其特征在于，还包括限位柱，所述限位柱设置有第一管腔，所述限位柱与所述阴极体基座连接，所述调整杆穿过所述第一管腔；所述调节螺母安装在所述限位柱端部。

7.根据权利要求6所述的平面阴极，其特征在于，所述调节螺母可转动地设置。

8.根据权利要求6所述的平面阴极，其特征在于，还包括盖板，所述盖板设置在所述阴极体基座下方，所述限位柱穿过所述盖板。

9.根据权利要求8所述的平面阴极，其特征在于，所述阴极体基座与所述盖板绝缘连接；所述阴极体基座与所述盖板之间设置有绝缘板，所述绝缘板使所述阴极体基座与所述盖板两者绝缘；所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述盖板之间分别设置有第二密封圈，所述第二密封圈环绕所述限位柱设置，将所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述盖板之间密封。

10.根据权利要求8所述的平面阴极，其特征在于，还包括背部阳极板和垫块，所述背部阳极板与所述阴极体基座绝缘连接；所述背部阳极板与所述阴极体基座之间设置有绝缘板，所述绝缘板使所述阴极体基座与所述背部阳极板两者绝缘；所述阴极体基座与所述盖板之间、所述绝缘板与所述背部阳极板之间分别设置有第二密封圈，所述第二密封圈环绕所述限位柱设置，将所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述背部阳极板之间密封；所述垫块一端与所述背部阳极板密封连接，另一端与盖板密封连接。

11.根据权利要求10所述的平面阴极，其特征在于，还包括限位柱和支撑杆，所述限位柱设置有第一管腔，所述支撑杆设置有第二管腔；所述限位柱一端与所述支撑杆连接，另一端与所述阴极体基座连接；所述支撑杆一端与所述限位柱连接，另一端延伸贯穿所述盖板并安装有可转动的调节螺母，所述第二管腔与所述第一管腔连通。

12.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述磁体包括：

磁轭，该磁轭传输磁力线；

第一磁铁；

第二磁铁；

所述第一磁铁与所述第二磁铁间隔设置，并均与所述磁轭接触；

所述第一磁铁与第二磁铁形成闭合磁力线，所述磁力线用于约束位于靶材一侧的电子使之形成等离子体。