[实用新型]一种平面阴极

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空磁控溅射设备，特别是一种平面阴极。

背景技术

目前，现有技术中的平面阴极都不具备在大气侧直接调整磁场均匀性的功能。膜层均匀性在大面积磁控溅射镀膜设备中，是一项非常重要的指标。影响磁控溅射镀膜均匀性的因素有很多，比如磁场分布、布气分布、电场分布和溅射挡板开口等因素。目前，提高膜层均匀性的主要方法是，保证设备的磁场均匀性、布气的均匀性和调节溅射挡板的开口尺寸等方法，及综合使用这几种方法。但是，在一些对膜层均匀性要求非常苛刻的工艺中，这些方式就无法实现要求的工艺，或实现后，均匀性会随着靶材逐渐刻蚀而逐渐变差，后期需要设备破空，做进一步的镀膜设备调整，造成设备停产，产能降低，或产品质量较差而难以满足质量要求。

实用新型内容

本实用新型的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种相对于靶材的磁场可以调节的平面阴极。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

平面阴极，包括：

阴极体基座，所述阴极体基座设置有容腔；

磁体，该磁体设置在靶材的一侧以约束电子，形成等离子体；

移位机构；

所述磁体可移动地设置于所述容腔内，所述移位机构可移动地设置于所述阴极体基座上，并延伸至所述容腔内驱动所述磁体移动。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述移位机构包括调整杆和调节螺母；所述调整杆贯穿所述阴极体基座，一端位于所述容腔内，另一端伸出所述容腔之外并与所述调节螺母螺纹配合；所述调整杆可沿轴向移动地设置于所述阴极体基座上；所述调整杆一端与所述磁体直接连接或者传动连接；所述调整杆与所述调节螺母其中之一可转动地设置，所述调整杆与所述调节螺母其中之一转动时可使所述调整杆沿轴向移动，所述调整杆沿轴向移动过程中驱动所述磁体移动。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述磁体安装在支撑梁上，所述支撑梁可移动地设置在所述容腔内，所述调整杆一端与所述支撑梁连接。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述调节螺母上设置有刻度线。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述调整杆与所述阴极体基座之间设置有第一密封圈。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括限位柱，所述限位柱设置有第一管腔，所述限位柱与所述阴极体基座连接，所述调整杆穿过所述第一管腔；所述调节螺母安装在所述限位柱端部。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述调节螺母可转动地设置。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括盖板，所述盖板设置在所述阴极体基座下方，所述限位柱穿过所述盖板。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述阴极体基座与所述盖板绝缘连接；所述阴极体基座与所述盖板之间设置有绝缘板，所述绝缘板使所述阴极体基座与所述盖板两者绝缘；所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述盖板之间分别设置有第二密封圈，所述第二密封圈环绕所述限位柱设置，将所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述盖板之间密封。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括背部阳极板和垫块，所述背部阳极板与所述阴极体基座绝缘连接；所述背部阳极板与所述阴极体基座之间设置有绝缘板，所述绝缘板使所述阴极体基座与所述背部阳极板两者绝缘；所述阴极体基座与所述盖板之间、所述绝缘板与所述背部阳极板之间分别设置有第二密封圈，所述第二密封圈环绕所述限位柱设置，将所述阴极体基座与所述绝缘板之间、所述绝缘板与所述背部阳极板之间密封；所述垫块一端与所述背部阳极板密封连接，另一端与盖板密封连接。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括限位柱和支撑杆，所述限位柱设置有第一管腔，所述支撑杆设置有第二管腔；所述限位柱一端与所述支撑杆连接，另一端与所述阴极体基座连接；所述支撑杆一端与所述限位柱连接，另一端延伸贯穿所述盖板并安装有可转动的调节螺母，所述第二管腔与所述第一管腔连通。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述磁体包括：

磁轭，该磁轭传输磁力线；

第一磁铁；

第二磁铁；

所述第一磁铁与所述第二磁铁间隔设置，并均与所述磁轭接触；

所述第一磁铁与第二磁铁形成闭合磁力线，所述磁力线用于约束位于靶材一侧的电子使之形成等离子体。