[实用新型]一种二极管碱腐机有效
| 申请号： | 201520717917.3 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN204927242U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈林;杨长福;周斌 | 申请（专利权）人： | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/329 | 分类号： | H01L21/329;H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 吴无惧 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种二极管碱腐机，包括碱液槽，碱液槽内设置有温度传感器和加热管，还包括有供氮装置，供氮装置的供氮导管伸在碱液槽的底部，碱液槽内还设置有承托板。以解决现有二极管碱腐时，由于腐蚀溶液流通缓慢，二极管腐蚀效率低，腐蚀周期长，成本较高的问题。实用新型属于二极管加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 碱腐机 | ||
【主权项】：
一种二极管碱腐机，包括碱液槽（1），碱液槽（1）内设置有温度传感器（2）和加热管（3），其特征在于：还包括有供氮装置（4），供氮装置（4）的供氮导管（41）伸在碱液槽（1）的底部，碱液槽（1）内还设置有承托板（5）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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