[实用新型]一种二极管碱腐机有效
| 申请号： | 201520717917.3 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN204927242U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈林;杨长福;周斌 | 申请（专利权）人： | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/329 | 分类号： | H01L21/329;H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 吴无惧 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 碱腐机 | ||
【权利要求书】：
1.一种二极管碱腐机，包括碱液槽（1），碱液槽（1）内设置有温度传感器（2）和加热管（3），其特征在于：还包括有供氮装置（4），供氮装置（4）的供氮导管（41）伸在碱液槽（1）的底部，碱液槽（1）内还设置有承托板（5）。
2.根据权利要求1所述一种二极管碱腐机，其特征在于：还包括有升降驱动机构（6），承托板（5）由升降驱动机构（6）驱动以实现上升和下降。
3.根据权利要求1所述一种二极管碱腐机，其特征在于：还包括有支架（7），所述碱液槽（1）固定于支架（7）上。
4.根据权利要求1所述一种二极管碱腐机，其特征在于：所述加热管（3）分布设置于碱液槽（1）的底部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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