[实用新型]一种二极管碱腐机有效
申请号: | 201520717917.3 | 申请日: | 2015-09-17 |
公开(公告)号: | CN204927242U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 陈林;杨长福;周斌 | 申请(专利权)人: | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/329 | 分类号: | H01L21/329;H01L21/67 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 吴无惧 |
地址: | 550025 贵州省贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二极管 碱腐机 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种碱腐设备,属于二极管加工领域。
背景技术
目前,整流二极管加工过程中,通常采用酸腐蚀机或碱腐蚀机,但是在常规的碱腐加工中,由于腐蚀溶液流通缓慢,二极管腐蚀效率低,腐蚀周期长,成本较高。
发明内容
本实用新型的目的在于:提供一种二极管碱腐机,以解决现有二极管碱腐时,由于腐蚀溶液流通缓慢,二极管腐蚀效率低,腐蚀周期长,成本较高的问题。
本实用新型拟采用这样一种二极管碱腐机,包括碱液槽,碱液槽内设置有温度传感器和加热管,还包括有供氮装置,供氮装置的供氮导管伸在碱液槽的底部,碱液槽内还设置有承托板。
还包括有升降驱动机构,承托板由升降驱动机构驱动以实现上升和下降。
还包括有支架,所述碱液槽固定于支架上。
所述加热管分布设置于碱液槽的底部。
还包括有控制面板,供氮装置的控制端、加热管的控制端以及升降驱动机构的控制端均集成于控制面板上。
本实用新型与现有技术相比,主要优点是在碱液槽的底部通氮气,碱腐时大大加快腐蚀液的流通速度,加速碱腐,提高腐蚀效率,缩短腐蚀周期,降低腐蚀成本,提高二极管的腐蚀质量。
附图说明
图1是本实用新型的主视结构示意图;
图2为图1的俯视图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将参照附图对本实用新型作进一步地详细描述,
实施例:
参照图1和图2,本实施例提供一种二极管碱腐机,包括碱液槽1、供氮装置4、支架7和控制面板8,碱液槽1固定于支架7上,碱液槽1内设置有温度传感器2和加热管3,加热管3分布设置于碱液槽1的底部,供氮装置4的供氮导管41伸在碱液槽1的底部,碱液槽1内还设置有承托板5,还包括有升降驱动机构6,承托板5由升降驱动机构6驱动以实现上升和下降。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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