[实用新型]一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统有效
申请号: | 201520680520.1 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN204989056U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 全燕鸣;姜长城;陈秋华 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 霍健兰;李卫东 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统,其特征在于:包括上位机、PLC控制器、线阵相机、伺服驱动器、伺服电机和工作台;其中,上位机分别与PLC控制器和线阵相机信号连接;PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接;伺服电机与工作台连接;PLC控制器与线阵相机信号连接。本实用新型线阵扫描系统结构简单,使用安全可靠,可避免由于机械惯性冲击而引起线阵相机扫描形成的图像畸变,有利于提高平板电路微观缺陷检测的准确程度。 | ||
搜索关键词: | 一种 平板 电路 微观 缺陷 检测 扫描 系统 | ||
【主权项】:
一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统,其特征在于:包括上位机、PLC控制器、线阵相机、伺服驱动器、伺服电机和工作台;其中,上位机分别与PLC控制器和线阵相机信号连接;PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接;伺服电机与工作台连接;PLC控制器与线阵相机信号连接。
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